光纤预制棒制造工艺对比:OVD、VAD 与 MCVD
什么是光纤预制棒
光纤预制棒是一根超高纯度玻璃圆柱体——通常长 1–2 米、直径 60–120 毫米——经拉丝后可获得约 1:1000 长径比的光纤。预制棒的折射率分布(由纤芯/包层掺杂比决定)决定了光纤的光学性能:衰减损耗(dB/km)、带宽和色散。预制棒质量是光纤性能的决定因素。
所有商业化预制棒工艺均以四氯化硅(SiCl₄)和四氯化锗(GeCl₄)为原料,通过高温化学气相氧化沉积 SiO₂(纤芯掺 GeO₂)。各工艺的差异在于沉积发生的位置与方式。
工艺对比
| 参数 | OVD(外部气相沉积) | VAD(气相轴向沉积) | MCVD(改进化学气相沉积) |
|---|---|---|---|
| 沉积方向 | 由外向内,沉积于旋转芯棒 | 轴向连续沉积,无芯棒 | 由内向外,在旋转石英管内 |
| 炱层形成方式 | 芯棒上火焰水解 | 喷灯前火焰水解 | 管内 CVD 氧化 |
| 产出效率 | 高(大炱体) | 最高(连续工艺) | 低–中 |
| 纤芯/包层控制 | 优秀(分步沉积) | 良好 | 优秀 |
| 可达纯度 | 极高 | 极高 | 高 |
| SiCl₄ 利用率 | ~70–80% | ~75–85% | ~60–70% |
| 主要生产商 | 康宁、长飞 | 藤仓、住友、烽火 | 实验室/特种光纤 |
| 主要用途 | 标准单模/多模光纤 | 标准单模光纤(高产量) | 特种及研发光纤 |
OVD(外部气相沉积)
由康宁公司于 1970 年代开发,OVD 通过 SiCl₄/GeCl₄ 蒸气火焰水解将炱层沉积于旋转芯棒上。先沉积纤芯(掺 GeCl₄ 以提升折射率),再沉积包层。沉积完成后取出芯棒,将多孔炱体预制棒在氯气气氛炉中烧结(致密化)以去除 OH⁻ 杂质。康宁和长飞光纤光缆(YOFC)是 OVD 的主要实践者。
VAD(气相轴向沉积)
VAD 在旋转预制棒端部轴向沉积炱层,预制棒在生长过程中持续向上拉伸。该工艺天然连续——无需取棒步骤——单条产线产出效率最高。藤仓和住友电工(日本)开发并完善了 VAD 工艺;中国生产商烽火通信和亨通光电现已运营大型 VAD 生产线。
MCVD(改进化学气相沉积)
MCVD 在旋转石英衬管内通入 SiCl₄/O₂ 混合气,同时外部火焰逐段加热,使 SiO₂ 沉积于管内壁。折射率分布控制精度极高,但产能受限于管径。MCVD 是保偏光纤、稀土掺杂光纤、光子晶体光纤等特种光纤的标准工艺,也是高校和研发机构的主流选择。
原料要求
SiCl₄ 和 GeCl₄ 均须满足严苛纯度规格:
| 原料 | 纯度 | 关键杂质 | 指标 |
|---|---|---|---|
| SiCl₄ | 5N–6N | Fe、Ni、Cu、Cr、OH⁻、H₂O | Fe < 1 ppb,H₂O < 1 ppm |
| GeCl₄ | 5N+ | Fe、Zn、Cu | Fe < 0.5 ppb |
GeCl₄ 价格远高于 SiCl₄,仅在需提升折射率的纤芯区域少量使用。标准单模光纤纤芯 GeO₂ 掺杂浓度通常为 3–10 mol%。
全球主要生产商
中国主导全球预制棒和光纤产能:
| 生产商 | 国家 | 工艺 | 产能(等效光纤千米/年) |
|---|---|---|---|
| 长飞(YOFC) | 中国 | OVD | 1亿+ |
| 烽火(FiberHome) | 中国 | VAD | 8000万+ |
| 亨通(Hengtong) | 中国 | VAD + OVD | 7000万+ |
| 中天(Zhongtian) | 中国 | VAD | 5000万+ |
| 康宁(Corning) | 美国 | OVD | 8000万+ |
| 藤仓(Fujikura) | 日本 | VAD | 5000万+ |
| 住友电工(Sumitomo) | 日本 | VAD | 4000万+ |
四家中国生产商(长飞、烽火、亨通、中天)合计约占全球光纤产量的 60–65%,预制棒产能份额略低(部分光纤从进口预制棒拉制)。